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超高纯度电子级多晶硅成功量产


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  纯度到达99.999999999%的电子级多晶硅成功量产。江苏鑫华半导体资料科技有限公司6月6日宣告,经过一系列严厉验证、检测,近来一批集成电路用高纯度硅料出口韩国,一起也向国内部分晶圆加工厂批量供货。这标志着我国半导体集成电路用硅料现已到达世界一流质量标准,也是我国多晶硅制作企业初次向世界市场出口集成电路用高纯度硅料。

  电子级多晶硅资料是集成电路的要害根底资料,曩昔我国市场上的集成电路用多晶硅资料根本依靠进口。电子级多晶硅是纯度最高的多晶硅资料。相对于太阳能级多晶硅99.9999%的纯度,电子级多晶硅纯度要到达99.999999999%。5000吨的电子级多晶硅中总的杂质含量只相当于一枚1元硬币的分量。

  2015年12月,鑫华半导体由国家集成电路工业出资基金联手保利协鑫一起出资,建造国内首条5000吨半导体集成电路专用电子级多晶硅生产线。上一年11月8日,协鑫旗下鑫华半导体正式发布电子级多晶硅产品。

  现在,该电子级多晶硅已经过客户验证并构成规划化出售,打破长期以来国外高纯度资料独占,添补该工业国内技能空白。鑫华半导体公司第一条生产线的产能为5000吨,可确保国内企业3至5年内电子级多晶硅不会缺货,产品质量满意40nm及以下极大规划集成电路用12英寸单晶制作需求。一起,还将规划再上一条5000吨生产线,以更好地满意世界国内市场。